?⒈潔凈度：半導(dǎo)體零件加工需要在無(wú)塵車間進(jìn)行，其潔凈度等級(jí)要求極高。車間內(nèi)的塵埃粒子數(shù)量必須嚴(yán)格控制在一定范圍內(nèi)，以防止塵埃對(duì)半導(dǎo)體零件造成污染和損壞。不同潔凈度等級(jí)適用于不同的生產(chǎn)環(huán)節(jié)，如實(shí)驗(yàn)室、研發(fā)機(jī)構(gòu)、超凈生產(chǎn)區(qū)域等。
⒉溫濕度：半導(dǎo)體零件加工對(duì)環(huán)境的溫度和濕度也有精確的要求。通常，溫度應(yīng)控制在一定范圍內(nèi)，而濕度則應(yīng)避免過(guò)高或過(guò)低。過(guò)高的濕度可能導(dǎo)致晶體管表面污染，影響效率；而過(guò)低的濕度則可能引發(fā)芯片表面靜電，導(dǎo)致電路損壞。因此，確保適宜的溫濕度環(huán)境對(duì)于保證半導(dǎo)體零件的質(zhì)量和性能至關(guān)重要。

⒊氣壓與氣體清潔度：在半導(dǎo)體零件加工過(guò)程中，需要使用各種氣體，如氮?dú)?、氧氣、氫氣等。這些氣體的氣壓需要精確控制，以確保加工過(guò)程的穩(wěn)定性和零件的質(zhì)量。同時(shí)，氣體的清潔度也是關(guān)鍵，以避免氣體中的雜質(zhì)對(duì)半導(dǎo)體零件造成不良影響。

⒋靜電控制：半導(dǎo)體零件加工環(huán)境對(duì)靜電要求極其嚴(yán)格。靜電可能導(dǎo)致CMOS集成損壞，因此車間內(nèi)必須采取有效的靜電防護(hù)措施，如使用防靜電材料、定期清潔設(shè)備等。

⒌其他參數(shù)：除了上述要求外，半導(dǎo)體零件加工環(huán)境還需控制其他參數(shù)，如照度、潔凈室截面風(fēng)速等，以確保加工過(guò)程的順利進(jìn)行和零件的質(zhì)量穩(wěn)定。